InficonMAG470INFICON英福康冷阴极电离真空规
详细信息
| | 品牌：Inficon | | 型号：MAG470 | | 加工定制：否 | |
| | 测量范围：3.8 × 10 -11 Torr 到 7.5 × 1 | | 测量精度：±30% | | 重复性：±5% | |
| | 电源：+15到+30V | | 用途：高真空测量 | | | |
冷阴极电离真空规
INFICON冷阴极电离真空规MAG470，测量范围为5 × 10-11mbar到1 × 10-2mbar
(3.8 × 10 -11 Torr 到 7.5 × 10 -3 Torr)。
优势
· 没有烧坏的灯丝
· 加长版，传感器输出温度可达250℃
· 优异的点火性能
· 易清洗
· 金属密封通道
· LED高电压指示灯
· 对数模拟输出信号
应用
· 超高真空压力监测
· 蒸发和溅射系统的基本压力
· 中高真空范围内的通用真空测量与控制
规格
| |
|
MAG470 MAGA470扩展 |
| 测量范围（空气，氮气) |
mbar (Torr) |
5 × 10 -11 … 1 × 10 -2 (3.8 × 10 -11 … 7.5 × 10 -3) |
| 精度(N2)1×10 -9…1×10 -3mbar |
% |
≈±30% |
| 重复性1×10 -9…1×10 -3mbar |
% |
≈±5% |
| 安装方位 |
|
不限 |
| 容许压力 |
Bar（绝对） |
≤10（限于惰性气体） |
容许温度
操作（环境）
储存
输出 |
℃
℃
℃ |
+5 … +55
–40 … +65
2501)(扩展版 2) |
电源电压
标准
*大供电量 3
电压频率 |
V (dc)
V (dc)
Vpp |
+15…+30
+16…+30
≤1 |
| 耗电量 |
W |
≤2 |
| 保险丝连接 |
AT |
≤1 |
输出信号（测量信号）
电压范围
测量范围 |
V
V |
0…+10.5
+1.96…+8.6 |
相对压力
误差 |
V |
对数, 0.8 V/decade
<0.5 (无供应) |
输出电阻
*小负载电阻 |
Ω
KΩ |
2 × 10
10、防短路 |
响应时间
p>10-6mbar
p=10-8mbar |
MS
MS |
<10
≈1000 |
| 识别量规 |
KΩ |
7.15，供参考使用 |
电气连接
传感器电缆
电缆长度 |
M |
FCC 68电器连接器，8极，内螺纹
8极加屏蔽
≤50(8×0.14mm2) |
工作电压
工作电流 |
kV
μA |
≤3.3
≤100 |
| 暴露于真空中的材料 |
|
不锈钢，氧化铝，银， |
| 内部容积 |
cm³ |
≈20 |
重量
DN 40 CF-F |
g |
≈950≈1100 |
| 保护类别 |
|
IP 40 |
| 标准 |
|
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 |
