InficonMPG400/MPG401反磁控冷阴极皮拉尼真空计
详细信息
| 品牌:Inficon | | 型号:MPG400 | | 加工定制:否 | |
| 测量范围:5 × 10E-9至1000 mabr | | 测量精度:±30% | | 重复性:±5% | |
| 电源:+15至+30V | | 用途:真空测量 | | | |
MPG400/MPG401反磁控(冷阴极)皮拉尼真空计
INFICON 反磁控皮拉尼真空计, MPG400 和 MPG401, 测量范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压 (3.8 x 10-9 乇至大气压). 将两种技术复合在带有对数模拟输出的简单小型规管中, 大大地降低安装, 设置和集成的复杂性.
优势:
复合真空计—反磁控和皮拉尼
宽的测量范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压
无可烧毁的灯丝
卓越的点燃特性
易清洗
FPM 或金属密封的馈入件
LED 指示灯用于高电压 on
对数模拟输出讯号
应用:
高真空压强监测
蒸发和溅射系统的基本压强
中高真空范围的一般真空测量和控制
技术规格
型号
密封 |
MPG400
FPM密封 |
MPG401
金属密封 |
测量范围 |
5 × 10E-9至1000 mabr |
精度(N2) 10E-8至100 mbar |
≈±30%读数 |
重复性 |
≈±5%读数 |
输出信号(电压) |
0至+10.5V
|
电源电压
功率 |
+15至+30Vdc
≤2 W |
电气连接件 |
FCC 68/RJ45网口,8脚屏蔽 |
工作温度 |
+5至+55℃ |
安装方位 |
任何 |
防护等级 |
IP40 |
订购资料
型号
密封 |
MPG400
FPM密封 |
MPG401
金属密封 |
KF25 |
351-010 |
351-020 |
KF40 |
351-011 |
351-021 |
CF40 |
351-012 |
351-022 |