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详细信息
MPG400/MPG401反磁控(冷阴极)皮拉尼真空计
INFICON 反磁控皮拉尼真空计, MPG400 和 MPG401, 测量范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压 (3.8 x 10-9 乇至大气压). 将两种技术复合在带有对数模拟输出的简单小型规管中, 大大地降低安装, 设置和集成的复杂性.
优势:
复合真空计—反磁控和皮拉尼
宽的测量范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压
无可烧毁的灯丝
卓越的点燃特性
易清洗
FPM 或金属密封的馈入件
LED 指示灯用于高电压 on
对数模拟输出讯号
应用:
高真空压强监测
蒸发和溅射系统的基本压强
中高真空范围的一般真空测量和控制
技术规格型号
密封MPG400
FPM密封MPG401
金属密封测量范围 5 × 10E-9至1000 mabr 精度(N2) 10E-8至100 mbar
≈±30%读数重复性 ≈±5%读数 输出信号(电压)
0至+10.5V
电源电压
功率+15至+30Vdc
≤2 W电气连接件
FCC 68/RJ45网口,8脚屏蔽工作温度 +5至+55℃ 安装方位 任何 防护等级 IP40
订购资料型号
密封MPG400
FPM密封MPG401
金属密封KF25 351-010 351-020 KF40 351-011 351-021 CF40 351-012 351-022
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