| 规格 |
| 阀门操作 |
ATV1000排气节流阀，MKS型653和253排气节流阀及其他 |
| 压力输入信号 |
标准0-10Vdc |
| 输入功率要求 |
90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz |
设置点
可编程的
外部模拟 |
总共5个，可在任何组合中编程，用于压力或阀位置
（可从前面板调节或从前面板旋转RS232设定、TTL或RS232）
0-10VDC |
| 控制器重复性 |
±0.1% F.S |
| 环境运行温度 |
15℃ - 45℃ |
| 输出功率 |
±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp |
| 模拟量输出信号 |
0 - 10vdc用于0-100%阀门位置,0 - 10vdc用于1-100%满量程压力 |
| 尺寸 |
1/2机架安装:88mm 宽 x 241mm 长 x 225 高 |
| 显示 |
LCD(压力、位置和外部设定点读数) |
| 显示单位 |
Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 标准 |
| PID控制 |
标准 |
| 远程零点 |
标准 |
| 接口 |
前面板设置，模拟，TTL和RS232，（RS-485选项） |
| 继电器输出 |
2个过程继电器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 电阻 |
远程控制
（打开、关闭、保持） |
标准 |
| 位置控制能力 |
标准 |
