APC200压力&流量控制器APC200-00-O-I-N
详细信息
| | 品牌：ATOVAC | | 型号：APC200-00-O-I-N | | 加工定制：否 | |
| | 测量范围：标准 | | 测量精度：%2.5 | | 重复性：0.1 | |
| | 测量误差：0.1 | | 尺寸：88mm 宽 x 241mm 长 x 225 高 mm | | 电源：标准 | |
| | 用途：真空计控制器 | | | | | |
APC200压力&流量控制器
APC200压流控制器基本上是为电容压力计提供一个电源(±15VDC)，与之相应的压力信号连接显示器，同时使用PID排气节流阀节流阀或Self-Tuning功能将压力控制连接起来的系统，其中,使用“Self-Tuning”功能,可根据流入室中气体的量、泵抽速度、阀位中的真空压力变化,以及其他重要的参数感知压力控制系数。使用此功能作压力控制时,可以更快地达到所需的压力。内置2个过程限制继电器,可帮助用户集成在装备中。
特点
至多可以连接4个MFC的PCB卡，每张PCB由2通道(2个MFC)组成。
标准的面板安装,通讯方式I/O或RS-232远程(RS-485选项)，实现所有远程控制都是可能的。
| 规格 |
| 阀门操作 |
ATV1000排气节流阀，MKS型653和253排气节流阀及其他 |
| 压力输入信号 |
标准0-10Vdc |
| 输入功率要求 |
90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz |
设置点
可编程的
外部模拟 |
总共5个，可在任何组合中编程，用于压力或阀位置
（可从前面板调节或从前面板旋转RS232设定、TTL或RS232）
0-10VDC |
| 控制器重复性 |
±0.1% F.S |
| 环境运行温度 |
15℃ - 45℃ |
| 输出功率 |
±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp |
| 模拟量输出信号 |
0 - 10vdc用于0-100%阀门位置,0 - 10vdc用于1-100%满量程压力 |
| 尺寸 |
1/2机架安装:88mm 宽 x 241mm 长 x 225 高 |
| 显示 |
LCD(压力、位置和外部设定点读数) |
| 显示单位 |
Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 标准 |
| PID控制 |
标准 |
| 远程零点 |
标准 |
| 接口 |
前面板设置，模拟，TTL和RS232，（RS-485选项） |
| 继电器输出 |
2个过程继电器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 电阻 |
远程控制
（打开、关闭、保持） |
标准 |
| 位置控制能力 |
标准 |
